Голландська компанія Levitech, що є корпоративним відгалуженням ASM, виробляє машини для напівпровідникової промисловості. Щоб досягти менших структур і більшої однорідності напівпровідників, яких вимагає ринок, виробник верстатів повинен був впровадити нові методи теплопередачі. Це вимагає більш швидкої корекції температури і, перш за все, більш точного контролю. Саме тому компанія Levitech шукала альтернативу для управління тепловими процесами в своїй машині Levitor. В особі JUMO компанія з нідерландського міста Алмере знайшла партнера, з яким можна було б реалізувати це рішення.
Реактор для виробництва пластин складається з 2 графітових дисків, які нагріваються до відповідної технологічної температури. Для досягнення оптимальних результатів диски повинні мати певні властивості. Під час цього процесу використовується газ, який змушує пластину висіти між обома дисками, не торкаючись їх. Для досягнення необхідної температури 1 200 градусів Цельсія використовуються спеціальні нагрівальні елементи Kanthal®.
Мета полягала в застосуванні інноваційних методів теплопередачі, які дозволяють забезпечити дуже швидке нагрівання пластини і дуже швидке охолодження. Обидві сторони пластини мають рівномірний отвір у 0,15 міліметра для забезпечення надзвичайно ефективної теплопровідності. За лічені секунди пластина нагрівається до температури графітових дисків. Це контролюється спеціальною системою управління нагріванням.
Левіторна машина для виробництва напівпровідників від Levitech
Система управління нагріванням - це те місце, де в гру вступає тиристорний регулятор потужності від JUMO. JUMO TYA 201 контролює необхідний струм і напругу нагрівального елемента Kanthal® в кожній температурній фазі і, таким чином, забезпечує точне протікання температури під час процесу. Ця система дозволяє виробляти підкладки при оптимальній температурі, яка завжди однакова.
Пластинка в левиторі Levitech
Пластина в термічному процесі Levitor від Levitech
Завдяки характеристикам тиристорного регулятора потужності JUMO TYA 201 вдалося задовольнити вимогу більш точного контролю і швидкої корекції температури. В результаті, інноваційні методи теплопередачі тепер можна застосовувати в напівпровідниковому виробництві. Таким чином Levitech відповідає вимогам ринку і одночасно підвищує швидкість виробництва.
